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商品編號：90123

CGO-4高低溫真空探針臺

價格：詢價

產(chǎn) 地：更新時間：2021-05-12 14:37

品牌：其他型號：CGO-4

狀態(tài)：正常點擊量：1480

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CINDBEST CGO-4 | 2"~6" 高低溫真空探針臺測試系統(tǒng)

特點/應(yīng)用：

2至6英寸樣品臺

高真空腔體

防輻射屏設(shè)計，樣品溫度均勻性更好

77K-675K高低溫環(huán)境

兼容IV/CV/RF測試

外置多探針臂，移動行程大

經(jīng)濟(jì)實用，可無縫升***

產(chǎn)品參數(shù)

CGO-4高低溫真空探針臺腔體規(guī)格：

型號	CGO-2/CGO-4/CGO-6
樣品臺尺寸	2英寸/4英寸/6英寸
樣品固定	彈簧壓片
觀察窗口	2英寸/4英寸/6英寸
真空度	10-6torr
探針臂接口	4~6個探針臂接口
其他接口	電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式	液氮/液氦/制冷機(jī)
溫度范圍	77K到573K/4.5K到573K
溫控精度	0.1K/0.01K/0.001K
穩(wěn)定性	±1K/±0.1K/±0.01K
外形	880mm長880mm寬600mm高/980mm長980mm寬600mm高
重量	約100千克/120千克

產(chǎn)品介紹

極低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測試：

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。

光學(xué)系統(tǒng)：

顯微鏡類型	單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率	16X-200X/20X-4000X
移動行程	水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm
光源	外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD	200萬像素/500萬像素/1200萬像素

探針臂：

X-Y-Z移動行程	50mm50mm50mm
結(jié)構(gòu)	外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動精度	10微米/1微米
線纜	同軸線/三軸線/射頻線
漏電精度	10pA/100fA/10fA
固定探針	彈簧固定/管狀固定
接頭類型	BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
頻率支持	DC-67GHZ
針尖直徑	0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米