EM12 精致型多入射角激光橢偏儀
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EM12是采用的測量技術,針對中端精度需求的研發和質量控制領域推出的精致型多入射角激光橢偏儀。
EM12可在單入射角度或多入射角度下對樣品進行準確測量。可用于測量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數k;也可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數k;亦可用于實時測量納米薄膜動態生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數k。多入射角度設計實現了納米薄膜的絕對厚度測量。
EM12采用了量拓科技多項技術。