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特點

1.     控制模式：開環(huán)控制和閉環(huán)控制

2.     易于集成：可與***產(chǎn)自動壓強控制儀配套使用，來實現(xiàn)閉環(huán)控制，達(dá)到穩(wěn)定壓強的目的，性價比高，同時亦可選擇進(jìn)口壓強控制儀

3.     響應(yīng)時間快

4.     性能穩(wěn)定，壓電陶瓷片壽命長

5.     無機械連接件，無伺服馬達(dá)，無磨損，在斷電的情況下可實現(xiàn)自動關(guān)閉的特點

技術(shù)參數(shù)

流量                   0--500 scmm

響應(yīng)時間            2 毫秒

集成漏率            5×10-8sml/sec

驅(qū)動電壓            0-100VCD/0-24VDC

電路連接            標(biāo)準(zhǔn)BNC接頭（Q9）

溫度范圍           100C至600C

最大入口壓強     50PSI

重量                  800克

精密型壓電閥

產(chǎn)品型號：PEV-1

產(chǎn)地：美***KEY HIGH

壓電閥是為了適用于要求精確控制氣體流量的場合，主要應(yīng)用領(lǐng)域包括: 磁控濺射，光學(xué)鍍膜，太陽能電池，ITO，等離子體刻蝕等。